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“打造原子级制造实验装置，要注重‘沿途下蛋’，既要在科学层面进行前沿探索，又要作出产业贡献，不断提高制造水平。”近日，在主题为“‘信息器件原子级制造实验装置’关键科学技术”的香山科学会议上，会议执行主席、中国科学院院士詹文龙表示，我国应积极把握历史机遇，全力推动原子级制造科技创新与产业创新的深度融合，加速原子级制造产业化进程。
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所建设的纳米真空互联实验站（NANO-X）便是“沿途下蛋”的典范。
据中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所所长王强斌介绍，经过前期预研建设，NANO-X已建成微观机理准原位分析、跨尺度性能测试等五大模块平台，形成了全真空环境下的纳米材料和器件研究开发的综合实验装置。“装置各系统均已实现高效稳定运行，为真空互联纳米科技领域的创新研究提供了强有力支撑。”他说。
“大科学装置有独特优势，可以在一个系统里跑通所有工艺，从而打通创新研发的完整链条。”NANO-X主任张珽说，目前，实验站已突破原子级制造相关的超高真空互联关键技术，在10年时间里组建了一个由200余人组成的工程研发团队。
实验站不仅在二维材料与电子器件研究领域取得系列突破性进展，还利用真空互联技术积极开展对外服务。
“边建设边科研，边运行边服务，是我们的特色。”张珽介绍，实验站面向全球高校、研究机构和高科技企业开放，开展合作课题780个，服务超280家用户，服务机时超14万小时，合作用户在学术期刊发表381篇论文，取得了系列重要科研成果。实验站逐步建立起立足苏州，辐射长三角地区，延伸海内外的用户科研服务体系。
“我们的服务对象很大一部分来自企业。国内外很多企业前来寻求合作，特别是初创企业会先来这个平台摸索工艺，利用真空装置检验材料的本征性质，降低研发成本。”张珽举例说，江苏洛玛瑞芯片科技有限公司就把研发平台放在这里，也产出了有影响力的重大成果。
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